以上是对激光器的要求，相对整个光源系统的技术要求不算高，系统工程程序中最难的步骤是光的收集。

收集难度大，转化效率也低。

雷客坐在电脑前，操纵鼠标在软件里做精密的计算：“所需的极紫外光必须在真空下进行反射，不能被折射，因为它非常容易被吸收。真空腔内的反射镜需要特殊镀膜，把这束光，从光源一路引导到晶圆……经过十几次反射，最终剩下的光线不到2%！”

围观过来的研发部成员倒吸一口凉气，虽早知光源转化率低，但听到这数字还是低得让他们心疼。

光源转化率低就意味着能量的巨大消耗，最直观的例子，一台euv机器输出功率两百瓦左右，工作一天，耗电三万度。

光线利用率不到2%已经是优化其他性能所能够得到的最佳数据，决定该性能优化的决定性关键就是反射镜的精度。

“精度必须以皮秒来计算。”

换句话说，光刻机所需的反射镜精度必须打磨到万亿分之一米。

盛明安：“用硅和钼反复镀膜，直到光线利用率达到国际标准。”

当下有人反驳：“都是纳米级镀膜，反复镀膜也会影响精度，工艺太难了！”

难度多大？

最浅显易懂的比喻便是将一面直径不超过四十厘米的反射镜放大至覆盖地面，其平面起伏不能超过一根头发的直径。

而光刻机所需的反射镜多达四五十层，平面精度一层比一层要求更平整。

全球只有德国蔡司这家传承三代以上的企业才造得出这种反射镜。

当然，反射镜不对华出口。

盛明安：“不用担忧反射镜能不能被打磨出来，你们只需要尽己所能考虑反射镜在光的收集和转化率这一单元里，能够被如何利用到极致。”

“数据、模型，不管失败成功，统统记录下来。”

盛明安语速打机关枪似的，斩钉截铁、不容置喙，仿佛难度高到爆表的光源系统在他眼里层次分明、井然有序，所有的技术难点都可以被轻松解决。

他胸有成竹，心有沟壑。

他不必开口安慰，只要用平淡轻松的口气下达每一道指令就能安定实验室每个人退怯、不自信的心。

“杜颂，打开你的modelica先进行初步的超精密激光器建模仿真。”

modelica是一款可实现复杂的物理系统仿真建模的计算机语言软件，可用于光刻机某些超精密部件的仿真建模。

杜颂：“已在创建。”

他领着自己小组成员低头忙碌。

“雷客，你调整一下光路结构。”

“好。”雷客示意助手打开opc（光学邻近矫正）软件，通过模型动态仿真结果计算查找表修正光与图案。

盛明安匍匐在桌案，设计市场需求的激光光源，就目前的技术发展而言，光刻机激光光源仍以激光等离子体为主。

驱动光源产生的碎屑数量，光谱纯度，每提高一个技术节点消耗的功率和产能……其实日前最先进的euv，其功率消耗大、产能低，再过五六年也未能完美解决这两个问题。

可盛明安不清楚。

他虽不愿用前世记忆盗窃他人成果提前制造出国产光刻机，可前世是他完美解决euv产能低的问题，因此习惯性顺手将这难题归入待解决列表之一。

以至于后来一举攻破该技术节点实现反超asml目标，实属意料之外。

***

15年5月份左右，国际半导体发生了一件大事。

asml官网对外发布突破光刻机量产瓶颈，正式对外售出可量产14nm极紫外光刻机！

此举瞬间激起千层浪，全球各界媒体报道不休，半导体发烧友热闹得跟过年一样纷纷发表讨论。国内贴吧、技术论坛和逼乎新帖不断，基本都是讨论asml这一举措将带来怎么的影响。

【光刻巨人：asml真正的崛起！】

国内科技网对asml的新闻标题被搬到国内电子发烧友论坛，论坛主搬来这标题就已经表明了他对未来全球半导体地位的划分认可。

【如标题所说，从今以后，asml是唯一的光刻巨人！】

【佳能、尼康的时代消失了，光刻机百花齐放共竞争的时代一去不复返，将来只有asml一骑绝尘的身影！】

【虽然不想承认，但欧美又在一个重要的领域里实现了科技霸权！】

【诸位，配合英特尔、高通今年年初发布的将于15年实现14nm核心处理器、年末实现10nm核心处理器的新闻发布会食用，而国产光刻机还停留在365nm光波长的第三代光刻机技术节点！】

【拉开了两代，落后二十年。】

【华国被死死扼住半导体产业的喉咙……】

【感到窒息。】

另一个贴没有这么丧气，但基本是在吹asml，回顾asml的历程，曾经也不过是个半生不死的小公司……

【谁还能记得曾经的asml濒临倒闭？】

【那时候的尼康和佳能才是霸权半导体领域的大佬，可惜封杀了台积电林大佬的浸润技术emmmm结果最后被asml捡漏。】

【asml的崛起之路从这一步开始[滑稽]。】

【命运真是奇妙，谁能料到最后会是名不见经传的阿斯麦尔抢先一步研发出第五代光刻机？】

【小声插一句，我国有机会研发14nm光刻机吗？】

【？？asml肯卖给我们一台euv就偷笑了，还自主研发？做梦呢！】

【肯定告诉你：有！二十年后！】

【不过那个时候的半导体可能已经发生翻天覆地的变化，摩尔定律失效，现有的光刻机技术臻至极限不再寸进，或许出现了新的机器替代光刻机，量子定律取代摩尔定律……我们再次被甩开二十年。】

【也不必这么悲观，或许二十年后，华国光刻机技术实现超英赶美。】

【摩尔定律没那么轻易被取代，你以为重新诞生一个定律很容易？】

【盛神不是解决了量子纠错的难题吗？很多人深受鼓舞，投入量子课题研究。只要某个领域天才成群结队而来，天大的难题被解决也只是时间的问题。】

……

【怎么跑题了？】

【说回正题，祈祷美帝不会一个看我们不爽就对我们实行芯片制裁吧。】

【什么意思？】

【asml控股大头是美帝公司！】

蓝河科技。

林成建步伐匆匆进入研发部的休息室，室内盛明安和陈惊璆都在，还有雷客、杜颂等人，他们一边吃中午饭一边继续商讨研究项目。

“看到最新消息没有？”

盛明安：“asml euv发布会。”

“对！”林成建坐下来擦汗，接过雷客倒来的水说：“现在全球订单飞向asml，一台售价1.2亿美金，订单排到了18年。”

光刻机工艺复杂，就算是asml一年也只能造出十几台。

“华芯的人也去下订单。”

杜颂急问：“怎么样？”

盛明安不用问也知道结果，陈惊璆则安静的挑出碗里的辣子鸡块规整放到一旁的饭盒盖上，然后推给盛明安。

陈惊璆：“我不吃辣。”

盛明安抬眼，扫了眼他那碗几乎没动过的辣子鸡，相信了。

辣子味道又香又麻不呛喉咙，鸡肉嫩滑多汁，吸收了辣子的香味，吃起来很刺激舌尖。

盛明安很喜欢，他说：“谢谢。”

陈惊璆笑看着他。

对面一姑娘来回看两人，心想盛神跟老板太基了吧。

林成建：“被拒绝了。”

杜颂：“艹！”

其他人心情激愤却也无可奈何，谁让他们的技术就是落后人家十几二十年？

落后活该挨打呗。

欧美各国遵守的《瓦森纳协议》就是专门针对禁止对华输入高阶精密科学仪器和技术，asml不敢违背协议，自然拒绝对华销售euv。

没有euv，他们还得从台积电，从英特尔、高通等美帝企业那儿购买芯片，巴巴送钱过去看人脸色。

休息室众人情绪低沉，盛明安察觉不到，自顾自吃饭，吃完了就拿起手边的热水慢吞吞喝两口解腻，浑身通透的舒服。